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    初生已成虎狼之势,国产大硅片企业自有燎原之法?

    2019-02-03 10:27:50 来源:EEFOCUS
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    这两年,国内大兴建造晶圆厂。但和集成电路的其他领域一样,中国在硅晶圆产业方面的不完善,在某种程度上看来,会成为中国集成电路发展的瓶颈。有见及此,最近两年,国内掀起了一股硅片建设潮。

     

    硅片是什么?
    硅晶圆也称硅片,是将石英砂经过冶炼、提成和其他多道工序制备的产品。由于这些硅片?#28304;?#24230;(一般要求达到 99.9999%,甚至达到 99.9999999%的)和杂质(杂质的含量降到 10-9)有严格的要求,尤其是电子级别的硅晶圆,对原料纯度,管?#29436;?#27927;,提纯塔,厂房洁净度的要求更是到了?#37327;?#30340;地步。对这就给新入者设立了一个极高的?#20064;?br />  

     

    硅片的制造流程

     

    在这个过程中,除了化学材料之外,设备?#24425;?#19968;个重要的关键。首先在制备硅锭过程中所需的炉子,然后就是制造硅片所需的各种设备。

     

    以我们最熟悉的集成电路使用的单晶硅硅片为例。从硅棒到单晶硅抛光硅片的过程中,需要经历:单晶生长→切断→外径滚磨→?#22870;?#25110; V 型槽处理→切片,倒角→?#24515;ィ?#33104;蚀--抛光→清洗→包装等流程,这就要求在一条产线中要有磨床、倒角机、内院切割机或线切割机、?#24515;?#26426;和多片?#33050;?#20809;机或单片?#33050;?#20809;机。当中的大部分设备是由德国科堡、博世,日本日立、精机,瑞士M&B和荷兰ASML等公司提供。这些设备的供应和使用也有可能成为硅片制造的掣肘。

     

    国内硅片市场现状
    直至目前,中国在8及12英寸硅片生产上已投资数百亿元人民币。

     


     

    抛开外资晶圆厂(三星西安、SK海力?#35838;?#38177;、英特尔大连、联芯厦门、成都格芯等),多数国内新建的8/12英寸Fab厂主要集中在浙江、?#19981;鍘?#27743;苏三省以及上海这块区域。而国产8/12英寸大硅片项目中,拉晶产线主要位于宁夏、内蒙等地,而切片生产线主要集中在浙江、?#19981;鍘?#27743;苏三省以及上海,?#28909;?#26477;州的中芯晶圆金瑞泓、上海超硅、上海新昇、中环领先半导体、?#19981;找?#33455;等,与多数国内新建的8/12英寸Fab厂地理距离较小。低运输费用将推动未来中国大硅片产业配套能力。未来新增产能,也将将带动半导体材料及设备的强劲需求。

     


     

    从大硅片供应链来看,设备及材料这块基?#39048;?#32654;国、德国、日本、韩国等厂商所控制。日本企业尤为突出,在?#23567;?#30952;、抛设备及浆料、切削油等材料方面占据主导地位。

     

    那国内大硅片项目到底进展到哪一步了呢?就让与非网小编带大家来了解一下吧~

     
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    作者简介
    邱丽婷
    邱丽婷

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