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    EUV还是DSA?Brewer Science选择都要

    2019-03-24 07:08:00 来源:EEFOCUS
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    摩尔定律已不同于诞生之初,如今业界摩尔定律接近物理极限的言论频出。它如同只差最后一根稻草的骆驼,挣扎前行。然而还是有众多厂商在为之付出努力,在其逐渐走向消亡的时候,新材料的研发成了突破口。

     

    众所周知,近?#25913;?#20013;国的半导体产业发展得如火如荼,其中也有不少材料厂商瞄准中国市场,Brewer Science就是其中的一位。

     

    2019 年 3 月 21 日,材料行业的领先者Brewer Science参加在上海新国际博览?#34892;?#20030;行的年度SEMICON China 展览暨研?#21482;幔?#36825;是公司第十三年参加此盛会。出席此次盛会的有Brewer Science亚太区业务发展总裁Stanley Wong,Brewer Science WLF材料部业务发展副总裁Dong shun Bai以及Brewer Science亚太区总裁Charlie Tuntomo。

     

    Stanley先生在会上介绍称,1981 年,Brewer Science的?#35789;?#20154;Terry Brewer 博士发明了 ARC防反射涂层,彻底变革了光刻工艺。发展到今天,Brewer Science一直保持以员工为本,以科技创新为主,以?#31361;?#33267;上( of the people, by the technology, for the customer)为座右铭。已经发展出包括支持先进光刻(EUV,5~7nm)、CSP/WLP 封装、超薄硅片处理和柔性电子技术等关键工艺材料。

     

    巨额研发费用下的不断推陈出新

    Brewer Science为何能够如此高效地推出新的产品与解决方案?Stanley先生这样说道,Brewer Science花在研发中的费用惊人,平均占每年公司营收约25%,业界很少有公司有这样的魄力。

     

    亚太区业务发展总裁Stanley Wong

     

    在过去的一年中,Brewer Science也交出了让人满意的成绩单,BrewerBOND® T1100 和 BrewerBOND® C1300 系列材料共同创造了 Brewer Science 首个完整、双层的临时键合和解键合系统。BrewerBUILD™ 薄式旋涂装封装材料专门用于重分布层 (RDL)——优先扇出型晶?#24067;?#23553;装 (FOWLP),Brewer Science 预计更多中国公司将会在不久?#24917;?#26469;开始应用此工艺。

     

    不只EUV还有DSA
    Brewer Science不断研发推进的不仅有封装材料,同时在 EUV和 DSA 领域也进行了大量的研发工作。 

     

    EUV(极紫外光光刻)与DSA(嵌段共聚物的定向自组装技术)同属于光刻技术,走到今天却有着不同的命运。DSA于21世纪初得到初步发展,并在随后?#25913;?#37324;引起了主要半导体制造商的高度关注,后来在一定程度上失宠,部分原因是EUV光刻获得了重要投资,取得了进步。在目前看来,很多人把EUV作为主流的光刻技术,却忽略了DSA。既然DSA技术并没有受到重视,Brewer Science又为何会选择继续投资研究?

     

    在Brewer Science看来,对于EUV和DSA不是两者选其一的选择题,充分利用两者的优势或者会获得更大的机会。Stanley继续说道,虽然在研究DSA的道路上会有更大困难并对EUV项目造成一定的影响,但能够给?#31361;?#22810;一种选择始终是Brewer Science坚持的原则之一。

     

    ?#23601;林行?#21378;商能否成为合作伙伴?
    Brewer Science作为一家高端材料厂商,布局中国市场也有多年,?#23601;林行?#21378;商是否也有与之合作的机会?

     

    Dong shun Bai先生?#28304;?#20316;出了回应,中国在技术节点的布局在稳步推进,同时也在谋求推进其在创新驱动领域的领导地位。Brewer Science 在这些领域拥有成熟的产品和服务,结合其在新一代先进光刻工艺方面的研发投入,创造了大量中国可?#28304;又形?#21462;经验的工具库,有助于中国继续朝着其前端技术目标迈进。对于与?#23601;?#21378;商合作这方面,Brewer Science一直秉承着开放与合作的态度。

     

    晶?#24067;?#23553;装材料事业部商务拓展副总监Dong shun Bai

     

    中国是一块非常有潜力的市场,Brewer Science在这片沃土上开拓,成长,?#20013;?#25512;进?#23601;?#21322;导体制造基础设施?#24917;?#35774;,巩固其作为中国地区领先材料供应商的地位。

     

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    作者简介
    邱丽婷
    邱丽婷

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